晶圆半自动缺陷检测设备

SpectView SA是西励科技自主开发的一款集成了高精度运动平台、

激光主动聚焦模块、光学显微控制以及先进图像处理算法的显微

自动化方案，专门用于半导体制造过程中对晶圆进行自动图像

采集，进行精准检测与分析。

操作简单

软件高度集成硬件模块控制，自动采集一键式操作，大限度的降低

操作人员培训和使用成本。

定位矫正

内置位置校正算法，可有效校正产品放置位置不一致导致的定位偏差。

多种采集方式

用户可按多种方式指定采样区域，如随机模式，指定采样区域，指定点坐标，也可支持载入用户的Wafer Map格式进行跑点。满足用户对晶圆品质分析的需求。

图像自动拼接

针对大尺寸芯片或高倍率情况下需要跨视场采集的情况，可实现图像自动

拼接获取完整的芯片图像；对于扩晶后导致Wafer上的芯片位置发生

偏移，可实现实时位置补偿。

缺陷自动判定

针对用户产品缺陷类型可选配内置检测算法，可极大提高工作效率和

品质管控。