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    晶圆半自动缺陷检测设备

    SpectView SA是西励科技自主开发的一款集成了高精度运动平台、激光主动聚焦模块、光学显微控制以及先进图像处理算法的显微自动化方案,专门用于半导体制造过程中对晶圆进行自动图像采集,进行精准的检测与分析。