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晶圆自动缺陷检测设备 ProEye 01
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ProEye 01  晶圆自动缺陷检测设备

 

ProEye 01  晶圆自动缺陷检测设备



高效率

采用高速双臂机械手，可缩短晶圆取放等待时间，有效提高检测效率。




定位准确

高速直线电机平台和高精度光栅尺以及驱控系统的完美配合，有助于实现快速、准确定位。





实时对焦

标配激光主动式高精度实时对焦系统，始终清晰的显微图像为准确识别缺陷提供有力的保障。




简单易用

西励自主开发的软件系统，友好的中文界面，即使是初学者也可很快上手。配方编辑简单直观，可极大缩短新产品检测导入时间。




定制算法
自主开发图像处理算法，内置数十种基础检测模块，可满足常见的缺陷检查及CD量测需求。也可依据用户产品工艺差异，定制专用检测算法，快速响应用户对设备检测能力的要求。



**可靠

设计和制造遵循SEMI S2, S8规范，充分考虑用户对设备长期**性和可靠性的要求。





Wafer Frame 方案可选