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晶圆自动红外检测设备 ProEye 02
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ProEye 02  晶圆自动红外检测设备


 


高速机械手，为自动化操作、高效率检测、高产能提供可靠保障。




专用红外物镜在红外波段保证高分辨率、长工作距离的同时，针对不同硅材料厚度提供校正环进行厚度补正。

 




滤镜转轮可预装6片滤镜，根据配方设置自动切换。用户可根据具体应用选配不同的滤镜，用于透射或阻隔特定的光谱波段。




红外相机在半导体常用的900-1300nm波段具备极高的量子效率，可轻松穿透材料表面，获取内部良好信噪比和高对比度的图像。





精心选择的红外专用光学配置组合，只为呈现芯片内部细微的缺陷。



设备设计和操作遵循SEMI S2、S8规范要求。